由于真空微波干燥設備微波能是控制在金屬制成的干燥室內和波導管中工作，所以微波泄漏極少，沒有放射線危害及有害氣體排放，不產生余熱和粉塵污染，既不污染食物，也不污染環境。
   在藥品生產中，為了保證藥品的均勻度和良好的流動性，常將原料用的方法制成顆粒（藥丸、膠囊、片刻），利用微波的熱效應和非熱效應，進行低溫干燥和殺菌處理，微波的能量直接輻射到藥品中，使藥品內部溫度升高，產生壓力，加速被約束水分子轉移，被處理物品中的水分逐步向外蒸發，此時微波設備中再通以適當的熱風，將蒸發出來的水分帶走。

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