微波干燥設備具有節省時間、能耗低、功率大等優點，能同時加熱物體介質的內外，讓加熱更均勻。它作為大型復雜的機械設備，需要定期維護。
1.檢查它的冷卻裝置是否正常：檢查制冷機要先弄清楚設備的冷卻方式，使用水冷卻時，要檢查管道是否漏水，是否堵塞。檢查風扇是否完好，風扇電源是否正常，更換損壞的零件。
2.檢查微波干燥設備的高壓電容是否正常：一般高壓電容并聯電阻的電阻值約為10ω；電容器端子和外殼之間的電阻值應，如果實測值與上述數據不符，應更換相應的零件。
3.檢查微波干燥設備的高壓硅堆是否正常：使用萬用表測量高壓硅堆的前向阻值應在100kω左右，反向阻值不應受到限制。如果實測值與上述數據不符，應更換高壓硅堆。